一、基本要求
1、潔淨廠房工程竣工驗收的係統調試，應在建設單位和監理單位的共同參與下進行，由施工企業負責進行係統調試、檢測，承擔調試的單位應具有調試、檢測專職技術人員和符合本規範規定的測試儀器。
五、施工程序
（一） 潔淨廠房的施工安裝內容主要有：建築裝飾、淨化空調係統、各動力公用和安全設施以及各種配管配線等；潔淨廠房的施工安裝應根據具體工程特點，使用功能，還應安排好相關生產工藝設備的安裝和二次配管配線的安裝。
（二） 潔淨廠房的施工安裝程序中，應根據具體工程情況、複雜程度等因素，必要時應進行二次潔淨室裝飾設計或二次配管配線設計等。
（三）潔淨廠房的施工安裝需各專業、多工種密切配合，按具體工程實際情況，製定施工安裝程序和計劃進度，循環漸進地完成潔淨廠房的施工建造。下圖是潔淨廠房的主要施工程序圖示：
六、 建築裝飾裝修
（四） 高架地板
1、高架地板及其支撐結構，應符合設計和承重要求。安裝前應檢查出廠合格證和複核荷載檢驗報告，每種規格均應具有相應的檢驗報告。
2、鋪設高架地板的建築地麵，應符合下列要求：
（1） 地麵標高應符合設計要求；
（2） 地麵表層應平整、光潔、不起塵，含水率不大於8%，並按設計要求塗刷塗料；
3、高架地板的麵層和支承件，應平整、堅實，並具有耐磨、防黴變、防潮、難燃或不燃、耐汙染、耐老化、導靜電、耐酸堿等性能。
4、對有防靜電要求的高架地板，安裝前應核查產品出廠證明、合格證和防靜電性能測試報告。
5、對有通風要求的高架地板，麵層上的開孔率和開孔分布、孔徑或邊長等均應符合設計要求。
6、高架地板支撐立杆與建築地麵的連接或粘結應牢固可靠。支撐立杆下部的連接金屬構件應符合設計要求，固定螺栓的外露絲扣不得少於3扣。
7、 高架地板麵層鋪設允許偏差，應符合下表的規定。
8、高架地板施工前應認真放線，正確選擇標高基準點和標出地板塊安裝位置、高度。
9、 高架地板安裝後行走應無擺動，無聲響，牢固性好。
10、 高架地板邊角位置板塊的安裝，應根據實際情況進行切割後鑲補，設可調支撐和橫杆，切割邊與牆體交接處應用柔軟的不產塵材料填縫。
（五）、吊頂工程
1、 吊頂工程的施工前，應對下列隱蔽工程進行驗收、交接。
（1）吊頂內各類管道、功能設施和設備的安裝工程；
（2）龍骨、吊杆和預埋件等的安裝，包括防火、防腐、防黴變、防塵處理；
（3）其它與吊頂相關的隱蔽工程。
2、安裝龍骨前，應按設計要求對房間淨高、洞口標高和吊頂內管道、設備及其它支架的標高等辦理工序交接手續。
3、吊頂工程中的預埋件、鋼筋吊杆和型鋼吊杆應進行防鏽或防腐處理；當吊頂上部作為靜壓箱時，預埋件與樓板或牆體的銜接處，均應進行密封處理。支吊架應采取防塵處理。
4、 吊頂工程驗收時，應檢查下列文件和記錄：
（1） 吊頂工程施工詳圖、設計及施工說明和相關產品合格證、性能檢測報告和進場驗收記錄等；
（2） 隱蔽工程驗收記錄；
（3） 施工記錄。
5、吊頂的固定和吊掛件，應與主體結構相聯。不得與設備支架和管線支架聯接；吊頂的吊掛件亦不得用作管線支吊架或設備的支吊架。
6、空氣過濾器、燈具、煙感探測器、揚聲器和各類管線穿吊頂處的洞口周圍應平整、嚴密、清潔，並用不燃材料封堵。隱蔽工程的檢修口周邊應采用密封墊密封。
7、 吊頂的標高、尺寸、起拱、板間縫隙應符合設計要求。板間縫隙應一致，每條板間縫隙誤差不得大於0.5mm；並以密封膠均勻密封，做到平整、光滑、略低於板麵，不得有間斷和雜質。
8、吊頂飾麵的材質、品種、規格等，應符合設計要求，並對產品性能進行核對。
9、吊杆間距宜小於1.5m。吊杆與主龍骨端部距離不得大於300mm。
10、 吊杆、龍骨和飾麵板的安裝必須安全、牢固。
11、 吊杆、龍骨的材質、規格及連接方式，應符合設計要求。金屬吊杆、龍骨應進行表麵防腐處理。
12、 吊頂飾麵表麵應清潔、光滑、色澤一致，不得有翹曲、裂紋和缺損；並不得發生黴變，不產塵。
13、 金屬吊杆、龍骨的接縫應均勻一致，角縫應吻合，表麵應平整，無翹曲、錘印。
14、 吊頂工程安裝的允許偏差和檢驗方法應符合下表的規定。
吊頂工程安裝的允許偏差和檢驗方法
|
項次 |
項目 |
允許偏差（mm） |
檢驗方法 |
|
|
金屬板 |
石膏板 |
|||
|
1 |
表麵平整度 |
1.0～2.0 |
3.0 |
用2m靠尺和塞尺檢查或水平儀檢查 |
|
2 |
接縫平直度 |
1.0～1.5 |
3.0 |
拉5m線，不足5m拉通線，用鋼直尺檢查或經緯儀檢查 |
|
3 |
接縫高低差 |
0.5～1.0 |
1..0 |
用鋼尺和塞尺檢查 |
（六） 牆體工程
1、 牆體工程施工前，應進行下列驗收和交接：
（1） 與牆體工程相關管線、設施的安裝工程；
（2） 龍骨、預埋件等的防火、防腐、防塵、防黴變處理。
2、 牆體工程驗收時，應檢查下列文件和記錄；
（1）牆體工程的施工詳圖、設計及施工說明和相關產品合格證、性能檢驗報告和進場驗收記錄等；
（2） 隱蔽工程驗收記錄；
（3） 施工記錄。
3、金屬壁板安裝前應認真按施工圖進行放線。牆角應垂直交接，防止壁板傾斜扭曲，壁板垂直度偏差不得大於0.15%。
4、牆體麵板接縫間隙應一致，每條麵板縫間隙誤差不得大於0.5mm，並應在正壓麵以密封膠均勻密封，密封膠應平整、光滑，略低於板麵，不得有間斷、雜質。
5、牆體麵板上的電氣接線盒、控製麵板和管線穿越處的各種洞口，應位置正確、邊緣整齊、嚴密、清潔、不產塵，並應以不燃或或燃材料封堵。
6、安裝門窗的預留洞口應符合設計要求，並應平整、嚴密、清潔、不產塵。
7、 隔牆板材安裝應牢固，預埋件、連接件的位置、數量、規格、連接方法和防靜電方式應符合設計要求。
8、 牆體板材安裝應垂直，平整、位置正確，與吊頂板和相關牆體板的交接處，應采取防開裂措施；其接縫應進行密封處理。拐角處宜采用圓角。
9、 牆體表麵應平整、光滑、色澤一致，金屬壁板的麵膜應完好無損（撕膜前）。
10、 牆體板材安裝的允許偏差和檢查方法，應符合下表的要求。
牆體板材安裝的允許偏差和檢驗方法
|
項次 |
項目 |
允許偏差（㎜） |
檢驗方法 |
|
|
金屬夾芯板 |
其他複合板 |
|||
|
1 |
立麵垂直度 |
≤1.5 |
2.0 |
用2m垂直檢測尺檢查 |
|
2 |
表麵平整度 |
≤1.5 |
2.0 |
用2m靠尺和塞尺檢查 |
|
3 |
接縫高低差 |
1.0 |
1.5 |
用鋼尺和塞尺檢查 |
（七） 門窗安裝工程
1、 門窗工程驗收時，應檢查下列文件：
（1） 門窗工程的施工圖、設計或施工說明和其他相關文件；
（2） 門窗的產品質量認證及（包括主要製作材料）合格證書、性能檢驗報告，進場驗收記錄；
（3） 門窗固定（連接）件的隱蔽工程驗收記錄；
（4） 門窗密閉性檢測報告（空氣潔淨度1～5級潔淨室）。
2、 門窗表麵應不發塵、不黴變、不吸附汙染物、易清潔和消毒、平整、光滑，門窗上玻璃均應為固定型。
3、 門窗邊框、副框的安裝必須牢固，預埋件、連接件的數量、規格、位置、埋設或連接方式等，均應符合設計要求。
4、 門窗邊框與牆體應連接牢固。門窗邊框、副框與牆體之間的縫隙應均勻，並不得超過1mm。縫隙應以密封材料填嵌和密封膠密封。
5、 潔淨室門配件的型號、規格、數量應符合設計要求，並應牢固、表麵光滑、不積塵、易清潔和消毒。
6、門窗表麵應色澤一致，無鏽蝕、無劃痕和碰傷。保護層或薄膜應連續。
7、 門扇應安裝牢固，並開關靈活，關閉嚴密。
窗安裝的允許偏差和檢驗方法，應符合下表的規定。
潔淨室門窗安裝的允許偏差和檢驗方法
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項次 |
項目 |
允許偏差 （㎜） |
檢驗方法 |
|
|
1 |
門窗槽口寬度、高度 |
≤1,500㎜ |
1.5 |
用鋼尺檢查 |
|
>1,500㎜ |
2.0 |
|||
|
2 |
門窗槽口對角線長度差 |
≤2,000㎜ |
3.0 |
用鋼尺檢查 |
|
>2,000㎜ |
4.0 |
|||
|
3 |
門窗框的正、側麵垂直度 |
2.5 |
用垂直檢測尺檢查 |
|
|
4 |
門窗橫框的水平度 |
2.0 |
用1m水平尺和塞尺檢查 |
|
|
5 |
門窗橫框標高 |
5.0 |
用鋼尺檢查 |
|
|
6 |
門窗豎向偏離中心 |
5.0 |
用鋼尺檢查 |
|
七、 淨化空調係統
6、風機過濾器機組（FFU）的安裝，應符合下列規定：
（1）安裝前具備的條件，應符合高效空氣過濾器安裝前的要求；
（2）應在清潔環境進行外觀檢查，不得有變形、鏽蝕、漆膜脫落、拚接板破損等現象；
（3）安裝框架應平整、光滑；
（4）安裝方向必須正確，安裝後的FFU機組應方便維修；
（5）與框架之間連接處應有可靠的密封措施；
8、 淨化空調係統空氣處理機組的組裝安裝，應符合下列規定：
（1）型號、規格、方向、功能段和技術參數應符合設計要求；
（2）各功能段之間應采取密封措施；
（3）現場組裝的組合式空氣處理機組安裝完畢後應進行漏風量檢測，空氣潔淨度等級1~5級潔淨室（區）所用機組的漏風率不得超過0.6%，6~9級不得超過1.0%，漏風率的檢測方法應符合現行國家標準《組合式空調機組》GB/T1429的規定；
（4）內表麵應平整、清潔，不得有油汙、雜物、灰塵；
9、 淨化空調係統中電加熱器的安裝，應符合下列規定：
（1） 外表麵，應光滑不積塵，宜采用不鏽鋼材質；
（2）前後800mm的絕熱保溫層，應采用不燃材料；風管與電加熱器連接法蘭墊片，應采用耐熱不燃材料；
（3）金屬外殼應設良好接地；外露的接線柱應設安全防護罩。
10、 空氣吹淋室的安裝，應符合下列要求：
（1）按工程設計要求，正確進行空氣吹淋室的測量、定位；
（2） 安裝就位前，應進行外觀檢查，確認外形尺寸、結構部件齊全、無變形、噴頭無異常或脫落等；
（3）檢查空氣吹淋室安裝場所的地麵平整、清潔，相關圍護結構留洞符合安裝要求；
（4）空氣吹淋室與地麵之間應設隔振墊，與圍護結構之間應采取密封措施；
（5） 空氣吹淋室的水平度偏差不得超過0.2%；
（6）按產品說明書相關要求，進行不少於1.0h的連續試運轉。檢查各運動設備，部件和電氣連鎖性能等。
11、 機械式餘壓閥的安裝，應符合下列要求：
（1）按工程設計要求，正確進行餘壓閥的測量、定位；
（2）安裝就位前，應進行外觀檢查，確認結構應能正確地靈敏動作；
（3） 安裝就位的餘壓閥，其閥體、閥板的轉軸允許水平偏差不得超過 0.1%；
（4）餘壓閥的安裝應牢固，與牆體的接縫應進行可靠密封。
12、幹表冷器的安裝，應符合下列要求：
（1） 按工程設計要求，正確進行幹表冷器的測量、定位；
（2） 與冷凍水供、回水管的連接應正確，且嚴密不漏；
（3） 換熱麵表麵應清潔、光滑、完好。在下部宜設排水裝置，冷凝水排出水封的排水暢通。
（五） 係統調試
1、淨化空調係統的調試，應由施工單位負責，建設單位等參加。調試包括單機試車和係統聯動試運轉及調試。
2、係統調試所使用的儀器儀表的性能、精度應滿足測試要求，並應在標定證書有效使用期內。
3、 淨化空調係統的聯動試運轉和調試前，應具備的條件：
（1） 係統內各種設備已進行單機試車，並驗收合格；
（2）所需供冷、供熱的相關的冷（熱）源係統試運轉，並已調試通過驗收；
（3）潔淨室（區）的裝飾裝修和配管配線已完成，並通過單項驗收；
（4）潔淨室（區）內已進行清潔、擦拭，人員、物料進入已按潔淨程序進行；
（5）淨化空調係統進行全麵清潔，並進行24h以上的試運轉達到穩定運行；
（6）高效空氣過濾器安裝並已檢漏合格。
4、淨化空調係統的帶冷（熱）源的穩定聯動試運轉和調試時間，不得少於8h。
5、淨化空調係統帶冷（熱）源聯動試運轉，應在空態下進行或按合約規定。
6、淨化空調係統各種設備單機試運轉，應符合現行國家標準《通風與空調工程施工質量驗收規範》GB 50243和相關產品標準的規定。
7、 單向流潔淨室的風量、風速的調試結果，參照NEBB《潔淨室認證測試程序標準》的相關要求，應符合下列規定：
（1）送風量測試結果應為設計風量的±5%之內，相對標準偏差應不大於15%；
（2）截麵平均風速應為設計值的±5%之內，各檢測點截麵風速相對標準偏差（不均勻度）應不大於15%。
8、非單向流潔淨室的送風量測試結果，參照NEBB《潔淨室認證測試程序標準》的相關要求，應為設計風量的±5%之內，各風口的風量相對標準偏差（不均勻度）不大於15%。
9、新風量測試結果不得小於設計值，且不得超過設計值的10%。
10、潔淨室（區）內的溫度、相對濕度測定結果，應符合下列要求：
（1）潔淨室（區）內的溫度、相對濕度的實測結果，應滿足設計要求；
（2）按規定的檢測點的實測結果的平均值，偏差值應為90%以上測點在的設計要求的精度範圍內。
11、 潔淨室（區）與相鄰房間和室外的靜壓差測試結果，應符合設計要求。
12、潔淨室內的氣流流型的測試，確認單向流、非單向流、混合流流型，符合設計和性能技術要求。
13、 潔淨室內的氣流方向測試，確認氣流方向及其均勻性符合設計和氣流流型要求。
14、 淨化空調係統的控製係統及其檢測、監控、調節元器件、附件的實施性調試，做到動作準確，顯示正確，運轉穩定，控製精度等符合設計要求。
九、配管工程
（一）一般規定
1、 本章適用於潔淨廠房內設計壓力不大於是1MPa，設計溫度不超過材料允許的使用溫度的碳鋼管道、不鏽鋼管道、工程塑料管道等配管工程的施工安裝質量驗收。
2、管道安裝應具備下列條件：
（1）與配管工程相關的土建工程已檢驗驗收合格，滿足安裝要求，並辦理了交接手續；
（2）施工應按照工程設計文件進行；
（3）配管工程使用的材料、附件、設備等已檢驗合格，並有相應的產品出廠合格證書等。規格、型號及性能等應符合設計要求；
（4）管子、管件、閥門等內部已清理幹淨，無雜物。對管子內表麵有特殊要求的管道，其質量符合設計文件要求，安裝前已進行處理，並經檢驗合格。
3、閥門安裝前，下列管道的閥門應逐個進行壓力試驗和嚴密性試驗，不合格者，不得使用。
1 輸送可燃流體、有毒流體管道的閥門；
2 輸送高純氣體、高純水管道的閥門；
3 輸送特種氣體管道、化學品管道的閥門。
4、除第7.1.3條規定範圍外的各類流體管道的閥門安裝前，應從每批中抽查20%，且不得少於2個，進行殼體壓力試驗和嚴密性試驗。當不合格時，應加倍抽查，仍不合格時，該批閥門不得使用。
5、管道穿越潔淨室（區）牆體、吊頂、樓板和特殊構造時，應符合下列：
（1）管道穿越伸縮縫、抗震縫、沉降縫時應采用柔性連接；
（2） 管道穿越牆體、吊頂、樓板時應設置套管，套管與管道之間的間隙應采用不易產塵的不燃材料密封填實；
（3）管道接口、焊縫不得設在套管內。
6、安裝於潔淨室（區）的管道、支吊架材料應采用不易生鏽、產塵的材料，外表麵應光滑、易於清潔。
7、配管上的閥門、法蘭、焊縫和各種連接件的設置應便於檢修，並不得緊貼牆體、吊頂、地麵、樓板或管架。對易燃、易爆、有毒、有害流體管道、高純介質管道和有特殊要求管道的閥門、連接件應嚴格按設計圖紙設置。
8、有靜電接地要求的管道，各段管子間應導電，當管道法蘭或螺紋連接處電阻值超過0.03Ω時，應設導線跨接。管道係統的對地電阻值超過100Ω時，應設兩處接地引線。
（二） 碳素鋼管道安裝
1、 管道預製宜按工程設計圖/管道係統單線圖進行，並與現場實測核對後加工。自由管段和封閉管段的加工允許偏差應符合現行國家標準《工業金屬管道工程施工及驗收規範》GB 50235的相關規定。
2、 預製完畢的管段應按輸送物料種類、設計圖紙要求將管內外清理幹淨，並及時包好管口。
3、 管子切割，管子公稱直徑小於等於100mm時，采用機械或氣割切割；公稱直徑大於100mm時，采用氣割切割。切口表麵應平整、無裂紋、毛刺、凸凹、熔渣、氧化物等，切口端麵傾斜偏差不應大於管子外徑的1.0%，且不得超過2mm。
4、 管道安裝應符合下列規定：
（1）管道連接法蘭密封麵及密封墊片，不得有劃痕、斑點、破損等缺陷；
（2）連接法蘭應與管道同心，並應保證螺絲自由穿入。法蘭對接應保持平行，其偏差不得大於法蘭外徑的1.5%，且不得大於2mm；
（3）管道連接時，不得采用強力對口、加偏墊、加多層墊等方法來消除接口端麵的空隙、偏斜、錯口或不同心等缺陷。
5、 碳素鋼管的連接應符合設計要求。設計無要求時，無縫鋼管應采用焊接；鍍鋅鋼管管徑小於或等於100mm時，宜采用絲扣連接，管徑大於100mm時宜采用法蘭或卡箍鉤槽連接。
6、管道安裝用墊片，應符合下列規定：.7
（1）當大直徑墊片需要拚接時，不得平口對接，宜采用斜口槽接；
（2）軟墊片的周邊應整齊、清潔，其尺寸應與法蘭密封麵相符，軟墊片尺寸允許偏差應符合下表的要求。
7、管道安裝的允許偏差，應符合下列規定：
（1）管道坐標位置的允許偏差為15mm；
（2）管道安裝高度的允許偏差為±15mm；
（3）水平管道平直度的允許偏差，對公稱直徑小於等於100mm時，應小於有效管長的0.2%，最大不超過50mm；公稱直徑大於100mm時，應小於有效管長的0.3%，最大不超過80mm；
（4）立管的垂直度的允許偏差為有效管長的0.3%，最大不超過30mm；
（5）共架敷設管道時，管道間距的允許偏差，應小於10mm；交叉管道的外壁或保溫層間距的允許偏差，應小於15mm。
（三）不鏽鋼管道安裝
1、 管道安裝作業不連續時，應采用潔淨物品對所有的管口進行封閉處理。
2、 管材切割，宜采用機械割管刀或不鏽鋼帶鋸或等離子法進行切割。切口表麵應平整、光潔，端麵傾斜偏差不應大於管子外徑0.05，且不得超過1mm。
3、 不鏽鋼管的焊接，應符合下列要求：
（1）焊縫位置、坡口加工，應符合現行國家標準《工業金屬管道工程施工及驗收規範》GB 50235的相關規定；
（2）不鏽鋼管的焊接應采用手工氬弧焊，焊接時管道內充氬氣進行管內保護，焊接接頭應為全焊透結構；
（3）管子或管件、閥門組對時，應做到內壁平齊，對口錯邊量不得超過壁厚的10%，且不大於2mm；
（4）焊接前焊縫處應將油汙處理幹淨，焊接後，焊接接頭表麵應進行處理。
4、不鏽鋼管道采用法蘭連接時，法蘭緊固螺栓應采用不鏽鋼材質；法蘭墊片宜采用金屬墊片或氯離子含量不得超過50×10-6的非金屬墊片。
5、 不鏽鋼管不得直接與碳素鋼支架、管卡接觸，應以塑料或橡膠墊片隔離，或采用氯離子含量不超過50×10-6的非金屬墊片。法蘭螺栓應采用不鏽鋼材質，墊片應采用氯離子含量不得超過50×10-6的非金屬墊片。
6、管材、管件、閥門內外表麵不得有明顯劃痕或鏽斑；其規格、型號和性能應符合設計文件的規定。
7、 管道分支宜采用三通連接，若兩者相差2個管徑及以上時，可采用等離子切割機或專用機械開口。采用等離子切割機機開口時，應有避免或減少高溫碎渣飛濺至管內的措施。
（四） BA/EP不鏽鋼管道安裝
1、 BA/EP不鏽鋼管的預製、安裝作業必須在潔淨工作小室內進行，作業人員應經培訓合格後崗，作業時應著潔淨工作服、手套。
2、管子、管件和閥門在預製、安裝前後或停頓工作時，應以潔淨塑料袋封口；一旦發現封口袋破損，應及時檢查、處理。
3、 管子切割，直徑等於或小於10mm，宜采用割管器；直徑大於10mm時，宜采用專用電鋸。應以純氬（純度99.999%）吹淨管內切口的雜物、灰塵，並去除油汙。
4、管道連接宜采用卡扣連接、法蘭連接或焊接。采用焊接時，應符合下列規定：
（1） BA/EP管焊接應采用自動焊，焊接時管內應充純氬氣（99.999%）。焊接結束仍需繼續充純氬吹掃、冷卻；
（2） BA/EP管焊接應正確地選擇電極棒（鎢棒）規格和焊接工藝參數。
（3）焊接前應按施工要求做出樣品，檢驗合格後方可施焊；
（4）當改變焊接參數時，應按施工要求做樣品，檢驗合格方可進行焊接作業。
5、管件、閥門組對時，應做到內外壁平整，對口錯邊不得超過壁厚的10%，且不得大於0.2mm。
6、 BA/EP管道的點焊采用手工氬弧焊。點焊前應將管段固定，檢查對口合格後，充氬氣保護。點焊後繼續采用純氬冷卻、吹掃。
7、 BA/EP管及管件、閥門的內外表麵應無塵、無油，表麵平整，並不得有破損，氧化現象。
8、 每焊接完成一個焊口，應采用不鏽鋼刷及時清除表麵氧化層。焊縫形態應均勻，不得有未焊透、未融合、氣孔、咬邊等缺陷。
9、 BA/EP管道連接用墊片的材質，應符合設計要求或設備、附件配帶；安裝前應確認墊片潔淨無油、無汙染物。
10、 BA/EP管道安裝，應按工程設計圖順氣流方向依次進行，並應連續充純氬吹掃、保護，管內純氬壓力應大於0.15MPa，直至管路係統安裝結束。
（五）PP/PE管道安裝
1、 潔淨廠房內PP/PE管道采用熱熔焊接法施工。
2、 施工中所采用的管材、附件、焊接材料等都已驗收合格，符合設計要求，並做好檢查記錄。
3、 焊接加工或施工現場，應保持清潔。焊接作業人員應經培訓合格後上崗。
4、 管道焊接的熱熔接機，應根據管道直徑采用相應型號、規格的焊機；焊接操作中應保持焊機、加熱板的清潔、無塵。
5、管子切割宜采用專用割刀。切口端麵傾斜偏差不得大於管子外徑的0.5%，且不得超過1㎜。
6、 管子熱熔焊接應符合下列要求：
（1）對接管段應可靠固定，對接麵錯邊不得大於管子壁厚的10%，並不應大於1mm；
（2） 應保持熱熔焊接加熱板麵清潔、無塵，嚴格控製加熱設定溫度；
（3） 根據不同管徑，控製熱熔對口壓力、對接時間、冷卻時間。
7、 管子熱熔焊縫不得低於管子表麵，一般應高於管子表麵2～3mm；焊縫不得出現缺陷接口，焊縫寬度不得超過規定平均寬度的20%。
8、 管子焊接切口表麵應平整、無毛刺；焊縫卷邊應一致、美觀，沒有汙物，焊接接口平滑、清潔。
9、 管子熱熔焊時的切換時間，應根據管子尺寸確定，對管外徑小於等於250mm時，宜小於8s；管外徑大於250mm時，不超過12s為宜。
10、管子熱熔焊時的加熱溫度，應根據材質、管壁厚度等確定，對PE管一般為200～230℃，PP管一般為195～205℃。
11、 管道安裝時，應根據輸送介質參數，合理設置支（吊）架，並應符合下列規定：
（1）支（吊）架形式、位置，應符合工程設計要求；
（2）支（吊）架不應設在管子接頭、焊縫處，其淨距應大於5cm；
（3）管道上閥門應可靠固定，宜以支架支承；支（吊）架與管子之間應填入橡膠類材料。
12、 PE/PP管道安裝後，應根據用途進行試驗，一般應符合下列規定：
（1）用於承內壓的管道，應進行壓力試驗，其試驗壓力為1.5倍工作壓力，經檢查以不泄漏、無異常為合格；若有嚴密性要求時，還應降至工作壓力，保壓30min，經檢查不泄漏、無異常為合格；
（2）用於熱流體輸送時，還應進行熱循環試驗，以工作介質或建設方認可的介質，在工作溫度及其低於工作溫度下進行溫度變化的試驗，檢查不泄漏、無異常為合格；
（3）用於常壓的管道，應進行滿水試驗，以不泄漏、無異常為合格。
（六） PVDF管道安裝
1、潔淨廠房內PVDF管道采用熱焊接法施工收。
2、 施工中所采用的管材、附件等均已驗收合格，符合設計要求，並做好記錄。
3、焊接加工應在潔淨工作小室內進行，加工完後在現場組裝。安裝施工所用機具、工具，應做到無塵、無油汙。
4、 PVDF管道施工作業人員應經培訓合格後上崗，在作業過程應著規定的工作服或潔淨服。
5、 管道焊接應采用自動或半自動熱焊機，應按管壁厚等，選用焊接設備型號、規格及配帶的機具、工具。
6、 管材、附件應密封包裝，在未進行焊接加工或現場組裝時，不得拆除外包裝。管材、附件應平整地堆放在防雨、防曬的環境內。
7、 施工現場應核查管材、管件、閥門的外觀、規格尺寸、材質和出廠合格證明文件等。
8、管子切割應采用專用割刀，切口端麵平整，無傷痕、無毛刺。
9、 管子熱焊接應符合下列要求：
（1）管子組對錯位偏差，不得超過管子壁厚的10%；組對間隙應小於0.2mm；
（2）應保持熱焊接加熱板（模）清潔、無塵，嚴格控製所需的加熱設定溫度；
（3）根據管壁厚度，控製熱焊的壓力、溫度和時間；
（4）不同管壁厚度的管道、附件不得對焊。
10、管子熱焊接的焊縫應為均勻的雙重焊道，雙重焊道穀底應高出管子外表麵，一般為管子壁厚的10%；雙重焊道寬度應按管子壁厚確定，不得小於2mm。
11、管道安裝後，應按下列規定進行強度試驗、嚴密性試驗；
（1） 以1.5倍設計壓力進行強度試驗，試驗介質為純水或高純氮氣（99.999%），試驗時間3.0h，不泄漏、不降壓為合格；
（2）以設計壓力的1.15倍進行嚴密性試驗，試驗介質為純水或高純氮氣（99.999%），試驗時間4.0h，以無泄漏，壓力降小於3%為合格。
12、 管子熱焊時的熔融時間，應根據管子子尺寸確定，管徑為13～100mm時，宜采用6～30S。
13、 管道在焊接加工後，在現場安裝時宜采用法蘭連接，並應采用不鏽鋼螺栓。
14、管道安裝時應根據輸送介質參數，合理設置支架，並應符合下列規定：
（1）固定支架和支（吊）架形式、位置，應符合設計要求；
（2）支（吊）架不應設在管道伸縮節、接頭或焊縫處，其淨距應大於8cm；
（3）支（吊）架與管子之間應填入橡膠類材料；
（4）管道上閥門應可靠固定，一般應設有支架支承；
（5）當設計沒有規定支（吊）架位置時，PVDF管可按下表設置支（吊）架。
（七） PVC管道安裝
1、潔淨廠房內PVC管道應用法粘接施工。
2、施工中采用的管材、附件應為同一廠家產品，並符合工程設計要求；粘接所使用的膠粘接劑宜為配套供應或得到管材生產廠家的認可。並做好施工現場驗收記錄。
3、 管道粘接場所，嚴禁明火和吸煙；通風良好，集中操作場所應設排風設施。
4、 PVC管材裝卸、運輸和堆放過程，不得拋投或激烈碰撞，應避免陽光曝曬。
5、 PVC管道的粘接應符合下列規定：
（1）管道粘接場所應保持較低濕度、遠離火源，環境溫度應高於5℃；
（2）粘接前，管材、附件的承、插口表麵，應做到無塵、無油汙、無水跡；管子端麵應做坡口，其坡口高度為2～3mm，並應四周均勻；
（3）粘接劑塗抹，應先塗承口、後塗插口，並重複2～3次；塗抹應迅速、均勻、適時；
（4）塗抹後應迅速粘接，插入深度達到規定值後保持20min；承插間隙不大於0.3mm。
6、管材的內外表麵應光滑，無氣泡、裂紋，管壁厚度均勻，色澤一致。直管段撓度不得大於1%。管件造型應規矩、光滑、無毛刺。承口有錐度，並與插口配套。
7、潔淨室內PVC管道的安裝，應符合下列規定：
（1）管材、附件搬入潔淨室前，應擦拭幹淨；
（2）管材按圖紙要求下料後再搬入潔淨室；若必須在潔淨室內切割時，應配備吸塵設施；
8、管道安裝時，應根據輸送介質及其參數，合理設置支（吊）架，並應符合下列規定：
（1） 支（吊）架形式、位置，應符合工程設計要求；
（2）支（吊）架與管子之間，應填入軟質絕緣物分隔；
（3）支（吊）架不應設在接頭處，其淨距應大於100mm。
9、管道安裝後，應根據用途進行試驗，並應符合下列規定：
（1）壓力試驗一般用清潔水，試驗壓力為1.5倍管內設計壓力，保壓30min不泄漏、無異常為合格；當輸送介質不允許使用水進行試驗時，可采用純氮氣（99.99%以上）進行壓力試驗，但應按規定采取防護措施，保壓10min不泄漏、無異常為合格；
（2）嚴密性試驗是在壓力試驗合格後，將壓力降至1.1倍設計壓力，保壓1.0h無壓力降。
（八） 配管檢驗和試驗
1、 配管工程的檢驗和試驗，應在施工單位自檢合格的基礎上進行。並按管道係統、檢驗批或分項工程的程序進行檢驗和試驗，同時做好記錄。
2、 潔淨廠房內各類金屬管道的焊縫檢驗，應符合下列規定；
（1）輸送劇毒流體的管道焊縫，應進行100%射線照相檢驗，其質量不得低於Ⅱ級；
（2）輸送壓力大於等於0.5MPa的可燃流體、有毒流體的管道焊縫，應進行抽樣射線照相檢驗，抽檢比例不得低於10%，其質量不得低於Ⅲ級。工程設計文件有規定時，應符合設計文件要求；
（3）射線照相檢驗方法和質量分級標準，應符合現行國家標準《現場設備、工業管道焊接工程施工及驗收規範》GB 50236的規定。
3、各類金屬管道係統安裝完畢，無損檢驗合格後，應按下列規定進行壓力試驗：
（1）壓力試驗應以水為試驗介質。當管道的設計壓力小於或等於0.8MPa時，也可采用氣體為試驗介質，但應采取有效的安全措施；
（2）潔淨廠房中，各種高純氣體管道和幹燥壓縮空氣管道等，宜采用氣體為試驗介質，並應采取有效的安全措施；
（3）潔淨廠房中，各種高純物質輸送管道的試驗介質，應進行淨化處理；
（4）壓力試驗的試驗壓力、試驗方法等，應符合現行國家標準《工業金屬管道工程施工及驗收規範》GB 50235的相關規定。
4、潔淨廠房中輸送劇毒液體、有毒液體，可燃液體氣和高純氣體的管道係統必須進行泄漏量試驗；泄漏量試驗應符合下列規定：
（1）泄漏量試驗應在壓力試驗合格後進行，試驗介質宜采用空氣或氮氣或氦氣。對輸送高純氣體的管道的泄漏量試驗介質，宜采用純度>99.999%的氮氣或氦氣；
（2）泄漏量試驗壓力應為設計壓力；
（3）泄漏量試驗時間，應連續試驗24h（氮氣）或1h（氦氣）；
（4）泄漏量試驗工作宜與係統調試結合進行。
（5）泄漏量試驗，以平均每小時泄漏率不超過1%為合格。
5、潔淨廠房中，各類真空管道的試驗應符合下列規定：
（1）真空管道的壓力試驗，宜采用氣壓試驗，試驗壓力為0.2MPa；
（2）壓力試驗合格後，真空管道應按設計文件規定進行24h的真空度試驗，其增壓率不得大於5%。
6、 管道在進行試驗、檢驗合格後，應根據設計要求對管路進行吹掃和清洗，管道的吹掃和清洗應符合設計要求，當設計無要求時，可參照現行國家標準《工業金屬管道工程施工及驗收規範》GB 50235的規定進行。
十、消防、安全設施安裝
（一）一般規定
1、消防、安全設施的安裝施工，應符合下列規定：
（1）安裝施工單位應具有規定的資質和安裝施工許可證；
（2）相關的土建工程已施工驗收合格，並辦理交接手續；
（3）應按工程設計文件和相關產品出廠技術說明文件的要求進行安裝；
（4）安裝前，應認真核查消防、安全產品製造單位的資質、製造許可證的真實性，並符合相關規定。
（5）安裝前，應對所有設備、材料進行現場檢查、檢驗，均應符合工程設計文件的要求。
8.1.2潔淨廠房內的消防、安全設施的安裝施工應遵守相關現行國家標準的規定。
十一、 電氣設施安裝
（一）一般規定
1、電氣裝置的施工安裝應符合下列要求：
（1）電氣裝置安裝工程相關的土建工程等己驗收合格，並辦理相關交接手續；
（2）施工安裝應按照工程設計文件進行；
（3）所需的各種材料、線纜、配電盤（櫃）、燈具、開關等已檢驗合格，並有相應的產品
出廠合格證明和檢驗記錄等。其型號、規格和性能等均應符合工程設計和合約的要求。
2、潔淨室（區）內的電氣裝置和線管、線槽、橋架等宜采用暗裝，一般應以裝飾板進行防護，其外表麵應平整、光滑，不產塵、積塵，易清潔。
3、電氣裝置安裝工程的驗收，應符合下列要求：
（1）應提交的資料、文件有：變更設計的證明文件，安裝過程記錄，隱蔽工程記錄，測試記錄，設備及照明的試運行記錄和設備、材料的合格證明及進場檢驗記錄等；
（2）隱蔽工程驗收合格：
（3）設各及照明試運行，並驗收合格；
（4）電氣接地設施驗收合格。
（二） 電氣線路的安裝
1、電氣線路、線管、線槽、橋架等的位置、規格應符合設計文件要求。
2、電線管、電纜管、線槽、橋架的接地裝置的施工及驗收應符合現行國家標準《電氣裝置安裝工程接地裝置施工及驗收規範》GB 50169的規定。
3、電氣線路的線管、線槽、橋架穿越潔淨室（區）的牆體、頂棚時，應采用氣密構造，其接縫均應進行密封處理。
4、安裝在潔淨室（區）內裝飾板內的電線、電纜宜采用穿管敷設，穿越裝飾板處應進行密封處理。
5、電線、電纜穿管敷設時，穿管內不得設有接頭，所有接頭應設在配電箱或接線盒內。
6、電氣配線采用三相五線製或單相三線製時，其絕緣導線的絕緣層顏色應采用不同顏色進行區分，不得采用相同顏色的絕緣層。
7、潔淨室（區）內的配電盤（櫃）、接線盒的配線施工安裝時，應留有滿足再次接線、調線的餘量。
（三）電氣設備的安裝
1、配電盤（櫃）、接線盒、插座箱和照明燈具等的位置、規格應符合設計文件要求。
2、電氣設各的安裝除遵守本節規定外，應符合現行國家標準《建築電氣工程施工質量驗收規範》GB 50303的相關規定。
3、潔淨室（區）內配電盤（櫃）、接線盒、插座箱和照明燈具等電氣設備，內外表麵應平整、光滑、不積塵、易清潔，安裝後應進行擦拭、無塵；
4、潔淨室（區）內配電盤（櫃）的安裝，應符合下列規定：
（1）嵌入式安裝的配電盤（櫃）與牆體之間的接縫應進行密封處理；
（2）嵌入式、掛牆式盤（櫃）的安裝高度應符合工程設計文件要求，其底標高不宜低於1.2m.
5、潔淨室（區）內嵌入式安裝的接線盒、插座箱牆體之間的接縫應進行密封處理。
6、 照明燈具、開關的安裝，應符合下列要求：
（1） 潔淨室（區）內嵌入式安裝的燈具與頂棚之間應進行密封處理；
（2） 照明燈具采用吸頂安裝時，燈具與頂棚之間宜采用氣密性墊片密封，並在接縫處塗以密封膠：
（3） 淚珠燈安裝時，應在進線處進行密封處理；
（4）嵌入式安裝的開關盒，其麵板應緊貼牆麵，接縫處宜塗密封膠。
7、潔淨室（區）內的配電盤（櫃）內的配線應做到橫平豎直、色別正確、標誌齊全、連接可靠。
8、潔淨室（區）內的接線盒、插座箱的安裝應端正，並符合設計要求，設計無要求時，安裝高度宜為1.0-1.
（四）防雷及接地設施的安裝
1、防雷設施的安裝和接地體、接地線的位置、規格等，應符合工程設計文件的要求。
2、接地體與接地線或接地線與相關設備、插座的連接，宜采用焊接或鍍鋅螺栓可靠連接。
3、接地設施的安裝除遵守本節規定外，應符合現行國家標準《電氣裝置安裝工程的接地裝置施工及驗收規範》GB50169的規定。
4、接地體的施工安裝，應符合下列規定：
（1）接地體及其引出線和焊接部位，應進行表麵除鏽、去除汙物和殘留焊渣，井進行防鏽處理：
（2）接地體埋設深度應符合工程設計文件的要求，井不得小於1.6m;
（3）以角鋼、鋼管等製作的接地體，應采用垂直設置；
（4）垂直接地體之間的距離，不宜小於2倍接地體長度：水平接地體之間的距離不宜小於5m。
5、接地線的施工安裝，應符合下列規定：
（1）接地線穿越潔淨室牆體、頂棚和地麵處，宜采用套管，並應進行密封處理；
（2）明敷的接地線不應妨礙設備的安裝、維修，並便於檢查；
（3）在易發生明敷接地線損傷的場所，其接地線應采取保護措施：
6、接地體的施工安裝，還應符合下列規定：
（1）接地體經檢測，其接地電阻應符合工程設計文件要求；作好隱蔽工程記錄後，進行回填；
（2）接地體的回填土不得對其有腐蝕，並不得夾雜石塊和建築垃圾等。
7、接地線的施工安裝，還應符合下列規定：
（1）在潔淨室（區）內明敷的接地線與建築牆體、頂棚之間的間隙宜為10-15mm，與地麵之間距離宜為250-300mm；
（2）接地線跨越建築物的伸縮縫、沉降縫時，應設置補償器；
（3）明敷接地線應作標識。
十二、噪聲控製設施的
（一） 一般規定
1、噪聲控製設施宜與建築裝飾、淨化空調係統、排風係統等設施同步安裝施工。
2、噪聲控製設施的安裝施工，應符合下列要求：
（1）應按工程設計文件和設備、材料技術說明書進行安裝；
（2）各種設備及其附件、材料均己進行現場檢查、檢驗，且符合工程設計文件或合約要求，並進行記錄。
（二）噪聲控製設施安裝
1、消聲器、隔聲罩等噪聲控製設備安裝前，應按工程設計文件和產品說明書或合約的規
定，檢查其完整性、嚴密性、規格尺寸等，並作好記錄。
2、消聲器的安裝應符合下列規定：
（1）安裝位置、方向正確，與風管（或配管）的連接嚴密，不得有損壞與受潮。兩組同類
型的消聲器不應直接串聯；
（2）現場安裝的組合式消聲器，其組件的排列、方向和位置應符合設計要求；單個消聲器組件應可靠固定；消聲器應設獨立支吊架。
3、隔聲罩、隔聲室的安裝應符合下列規定：
（1）安裝位置、方向正確，與主體設備、結構的連接應嚴密，並可靠固定；
（2）檢查門、觀察窗和通風裝置等應嚴密，無損壞或異常；活動部件靈活，符合設計要求；
（3）隔聲材料均勻滿布，不得有損壞或外露。
4、潔淨廠房內吸聲設施的施工安裝，應符合下列規定：
（1）吸聲設施（包括牆體、頂棚或地麵）的構造、材質和規格尺寸均應符合設計要求；
（2）潔淨室（區）內的吸聲設施，應表麵光滑、易清潔、不起塵。
5、消聲器的安裝，還應符合下列要求：
（1）消聲器安裝前應保持幹淨，做到無油汙和浮塵；
（2）消聲器、消聲彎管的安裝均應設獨立的支（吊）架。
6、隔聲罩、隔聲室的安裝，應符合下列要求：
（1）安裝前應保持清潔，做到無油汙和浮塵；
（2）安裝後應對內、外表麵進行擦拭，保持清潔、無塵。
7、潔淨廠房內吸聲設施的施工安裝，應符合下列規定：
（1）吸聲設施的表麵應符合設計要求；
（2）吸聲材料不得有損壞或明顯的外露。
十四、工程驗收
（一） 一般規定
1、 潔淨廠房工程施工完成後應進行工程驗收，劃分為竣工驗收、功能驗收、使用驗收。以確認各項性能參數符合設計、使用和相關標準規範的要求。
2、 竣工驗收應由建設單位負責，組織施工、設計、監理等單位進行驗收。
3、 功能驗收應在竣工驗收完成後進行，由建設單位負責，並由具有相應檢測資質的第三方進行檢測。設計、施工單位配合。
4、使用驗收應在功能驗收完成後進行，由建設單位負責，可由具有相應檢測資質的第三方或由建設單位與第三方共同進行測試。設計、施工單位配合。
5、 潔淨廠房工程驗收的檢測狀態分為空態、靜態和動態。竣工驗收階段的檢測宜在空態下進行；功能驗收階段宜在空態或靜態下進行．應由建設方、設計方和施工方協商確定，宜在靜態下進行；使用驗收階段的檢測應在動態下進行。
（二）潔淨廠房的測試
1、 潔淨廠房的工程驗收中，在進行各項性能檢測之前，淨化空調係統應正常運行24h以上．達到穩定運行狀態。
2、 檢測用儀器儀表均應經過具有相應資質的單位進行標定，並在標定有效期內。
3、 潔淨廠房測試應按工程驗收階段分段進行。竣工驗收階段的檢測是確認各項設施符合工程設計和合同的要求；功能驗收階段的檢測是確認各項設施均能有效、可靠的運行；使用驗收階段的檢測是按建設方規定的生產工藝和“動態”活動要求，確認各項設施的有效、可靠的運行。
4、 潔淨廠房性能測試項目見下表：
5、空氣潔淨度等級的檢測是對粒徑分布在0.1μm至5.0μm之間的懸浮粒子的粒徑和濃度進行測試，空氣潔淨度等級應符合設計和建設方的要求。
6、根據生產工藝要求，應進行潔淨室內浮遊菌、沉降菌的檢測。
7、 風量和風速的測試，對單向流潔淨室的送風量是以測試的平均送風速度乘以送風截麵積確定；非單向流潔淨室的送風量可采用直接測試或測出風口風速乘以出風截麵積確定。
單向流潔淨室以送風平均速度、非單向流潔淨室以送風量計算得到的換氣次數。
8、 壓差測試，為檢驗潔淨室（區）與其周圍環境之間的規定靜壓差，應在潔淨室（區）的風速、風量和送風均勻性檢測合格後進行靜壓差測試。
9、 已裝空氣過濾器的檢漏，為檢驗潔淨室（區）的高效空氣過濾器的完好性和安裝質量，在安裝後的空氣過濾器的上遊側引入測試氣溶膠，並及時在送風口和過濾器周邊、外框與安裝框架之間的密封處進行掃描檢漏。檢漏測試可在“空態”或“靜態”進行。
10、為確認潔淨室（區）的氣流流型和氣流方向，在上述檢測達到要求後進行氣流流型檢測。
11、 為確認淨化空調係統對潔淨室（區）的溫度、相對濕度的控製能力，應在淨化空調係統連續、穩定運行後進行檢測，達到設計要求。
12、對於空氣潔淨度等級嚴於5級的潔淨室（區），應對圍護結構進行密閉性測試，以確認有無被汙染的空氣從相鄰潔淨室（區）或非潔淨室（區）通過吊頂、隔牆或門窗滲漏進入潔淨室（區）。
13、 潔淨室（區）內的噪聲測試，應在“空態”或與建設單位協商的狀態下進行檢測，室內噪聲達到標準規定值。
14、 潔淨室（區）的照度測試，應在室內溫度穩定和光源光穩定狀態下進行，室內照度值達到設計要求。
15、 對於非單向流潔淨室，應進行自淨時間的檢測。
16、 當潔淨廠房中設有需微振控製的精密設備儀器時，應對微振控製設施的建造質量進行檢測，達到設計要求。
17、 根據生產工藝要求，應對潔淨室（區）的地麵、牆麵和工作台麵的表麵導靜電性能進
檢測數量：按房間或區域，全數檢查。
18、 潔淨廠房的每項測試，均應編寫測試報告，其主要內容有；
（1） 測試單位的名稱、地址，測試人和測試日期；
（2）所測設施名稱及毗鄰區域的名稱和測試的位置、座標；
（3）設施 類型及相關參數；
（4）測試項目的性能參數、標準，包括占用狀態等；
（5）所采用的測試方法、測試儀器及其相關的說明文件；
（6）測試結果，包括測試記錄、分析意見；
（7）結論。
（三） 竣工驗收
1、 潔淨廠房的竣工工驗收，是在各分部單機試車，無生產負荷係統試車自檢合格後進行。竣工驗收的內容是對各分部工程的單機試車和無生產負荷係統試車的核查，潔淨室（區）性能參數檢測和調試、各分部觀感質量核查，建設方要求的檢測和調試內容。
2、 潔淨廠房竣工驗收時，應認真檢查竣工驗收的資料，一般包括下列文件及記錄：
（1）圖紙會審記錄、設計變更通知書和竣工圖；
（2）各分部工程的主要設備、材料和儀器儀表的出廠合格證明及進場檢驗報告；
（3）各分部工程的單機設備、係統安裝及檢驗記錄；
（4）各分部單機試運轉記錄；
（5）各分部工程、係統無負荷試運轉與調試記錄；
（6）各類管線試驗、檢查記錄；
（7）各分部工程的安全設施的檢驗和調試記錄；
（8）各分部工程的質量驗收記錄。
3、 潔淨廠房內各分部工程的觀感質量核查。
4、 各分部工程的各類設備單機試車的核查，應符合本規範5～12章的相關規定。
5、 各分部工程的各類係統的單機試車核查合格後，應進行無生產負荷的穩定運行核查。
6、潔淨廠房竣工驗收的主要測試內容，一般應包括如下測試：
（1）氣流目測；
（2）風速和風量測試；
（3）空氣過濾器的檢漏；
（4）潔淨室（區）的密閉性測試；
（5）房間之間的靜壓差測試；
（6）空氣潔淨度等級；
（7）產品生產工藝有要求者，應進行微生物測試或化學汙染物測試或特殊表麵的潔淨度測試；
（8）自淨時間；
（9）溫度、相對濕度；
（10）照度值；
（11）噪聲級；
（12）其他建設方需要進行的檢測項目。
7、 潔淨廠房竣工驗收後，應由施工方編寫竣工驗收報告，其主要內容上述外還有：
（1）觀感核查記錄；
（2）分項測試記錄及分析意見（包括測試點位置、座標等）；
（3）測試儀器的有效校驗證書；
（4）結論。
（四） 功能驗收
1、潔淨廠房的功能驗收是經過規定的檢測和調試，確認潔淨室（區）功能參數都能有效的滿足產品生產運行的要求。
2、 潔淨廠房的竣工驗收合格，並經核實批準後，按建設方要求進行功能驗收，功能驗收的主要測試內容，一般應包括如下測試：
（1）檢測空氣潔淨度等級；
（2）生產工藝有要求者，還應進行微生物測試或化學汙染物測試或特殊表麵的潔淨度測試；
（3）潔淨室（區）的溫度、相對濕度的穩定性測試；
（4）檢測自淨時間；
（5）檢測潔淨室（區）的密閉性測試；
（6）測定照度；
（7）測定噪聲級；
（8）需要時，確認和記錄氣流形式和換氣次數；
（9）建設方需要進行的其他檢測項目。
3、 潔淨廠房的功能驗收後，應由建設方或建設方委托的相關單位編寫驗收報告，其主要內容有：
（1）潔淨廠房中各種設施的開啟狀態描述；
（2）分項測試記錄及分析意見（包括測試點位置、座標等）；
（3）測試儀器的有效校驗證書；
（4）結論。
（五） 使用驗收
1、 潔淨廠房的使用驗收是在建設單位規定的使用狀態下進行檢測和調試，確認潔淨室（區）的動態性能參數都能有效的滿足使用要求。
2、 使用驗收的主要檢測內容，一般應包括如下測試：
（1）檢測空氣潔淨度等級；
（2）生產工藝有要求者，還應進行微生物測試或化學汙染物測試或特殊表麵的潔淨度測試；
（3）溫度、相對濕度的穩定性測試；
（4）確認潔淨室（區）的密閉性能；
（5）建設方需要進行的其他檢測項目。
3、潔淨廠房使用驗收後，應由建設方或建設方指定的相關單位編寫使用驗收報告，其主要內容有：
（1）潔淨廠房中各種設施（包括生產工藝設備）等的開啟狀態描述；
（2）測試的潔淨室（區）人員及其活動情況的描述；
（3）分項測試記錄及分析意見（包括測試點位置、座標等）；
（4）測試儀器的有效校驗證書；
（5）結論。
十五、潔淨室性能測試
（一）測試項目的選擇和實施順序
1、 性能測試項目和順序的選擇，參照國際標準《潔淨室及相關受控環境，第3部份：檢測方法》，ISO14644-3中相關要求，根據具體工程的規模、空氣潔淨度等級、產品生產工藝要求及布置情況、淨化空調係統等因素確定，並應由建設方、施工方協商一致填寫下表：
注：1 測試可在第1列的格中按所選擇的測試項目編號。
2 在第4列中，測試可按所選的測試方法選擇測試儀器。
（二） 測試方法
A、 空氣潔淨度等級測試
1、本節提出的空氣潔淨度等級測試，主要是參照國際標準《潔淨室及相關受控環境，第1部份：空氣潔淨度分級和第3部份：檢測方法》，ISO14644-1和ISO14644-3，並結合我國目前的實際進行製定。
2、空氣潔淨度等級的測試一般采用粒子計數器，采樣量應大於1L/ min。測試粒徑大於等於0.5μm粒子時，宜采用光散射粒子計數器；測試粒徑大於等於0.1的粒子時，宜采用大流量激光粒子計數器（采樣量每分鍾28.3L）；測試粒徑小於0.1μm的超微粒子時，宜采用凝聚核激光粒子計數器。
95%置信上限（UCL）的t分布係數
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采樣點數（m） |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7～9 |
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t |
6.3 |
2.9 |
2.4 |
2.1 |
2.0 |
1.9 |
（4） 如果每個采樣點測得粒子濃度的平均值以及潔淨室總平均值95%置信上限均未超過空氣潔淨度等級的濃度限值，則認為該潔淨室（區）已達到規定的空氣潔淨度等級。
如果測試結果未能滿足規定的空氣潔淨度等級，可增加均勻分布的新采樣點進行測試，對包括新增采樣點數據在內的所有數據重新計算的結果，作為最終檢驗結果。