為了統一我國潔淨室的設計標準,更好地推動正在興起的百級建設的健康發展,在1978年由 建委立項編寫 標準《潔淨廠房設計規範》、確定並成立了由中國電子工程設計院(當時的電子工業部第十設計研究院)為主編單位的“規範編寫組”。
淨化工程單位關於各種氣流的特點、創造的潔淨度、應用範圍
單向流氣流的淨化原理是活寒和擠壓原理,把灰塵從一端向另一端擠壓出去,用潔淨氣流置換汙染氣流。包括有垂直單向流和水平單向流。
垂直單向流是氣流以一定的速度(0.25m/s-0.5m/s)從頂棚流向地坪的氣流流型。這種氣流能創!造100級、10級、1級或更高潔淨級別。但其初投資很高、運行費很高,淨化工程單位在工程中盡量將其麵積壓縮到較小,用到bi須用的部位。
水平單向流是氣流以一定的速度(0.3m/s-0.5m/s)從一麵牆流向對麵的牆的氣流流型。該氣流可創造100級的淨化級別。其初投資和運行費低於垂直單向流流型。
非單向流氣流的淨化原理是稀釋原理。一般型式為髙效過濾器送風口頂部送風:回風的型式,有下部回風、側下部回風和頂部回風等。依不同送風換氣次數,實現不同的淨化級別,其初投資和運行費用也不同。
混合流氣流是將垂直單向流和非單向流兩種氣流組合在一起構成的氣流流型。這種氣流的特,點是將垂直單向流麵積壓縮到較小,用大麵積非單向流替代大麵積單向流以利節省初投資和運行費。