混合型潔淨室是將單向流潔淨室與非單向流潔淨室混合於同一潔淨室內組合使用,這種形式既滿足產品生產的較嚴的潔淨度等級要求,又可降低建造、運行費用。混合流潔淨室的特點是需要空氣潔淨度要求高的區域使用單向流,其他區域為單向流,既滿足使用要求,也節省建造投資和運行費用。下圖為混合流潔淨室一種形式的示意圖,它是由兩側的垂直單向流潔淨區—工作區,空氣潔淨度等級及位ISO5級或更高;中間為非單向流潔淨區—走道、運輸通道和輔助設備區等,潔淨度等級一般為ISO6-ISO7級。單向流、非單向流的混合回風可經生產區域設備維修區或管道間,一部分回至集中淨化空調係統,另一部分回至單向流或FFU送風裝置等。目前混合流潔淨室應用十分廣泛,如果把產品生產過程要求空氣潔淨度十分嚴格的微環境+大開間潔淨室也是做混合流潔淨室,午夜精品在线导航可以認為混合流潔淨室可應用於任何級別的潔淨室。