VHP滅菌過程
除濕——降低空間的相對濕度，達到期望VHP滅菌所需要的濕度水平。
保持VHP發生器設備連接到風管係統的閥門關閉，係統經空調機組運行，通過轉輪除濕功能段盡量降低濕度，使空調係統及房間內的空氣達到潔淨係統所需的潔淨等級及溫濕度要求即可。即VHP 滅菌在低濕（濕度＜40%）狀態滅菌效果最佳。
除濕——降低空間的相對濕度，達到期望VHP滅菌所需要的濕度水平。
保持VHP發生器設備連接到風管係統的閥門關閉，係統經空調機組運行，通過轉輪除濕功能段盡量降低濕度，使空調係統及房間內的空氣達到潔淨係統所需的潔淨等級及溫濕度要求即可。即VHP 滅菌在低濕（濕度＜40%）狀態滅菌效果最佳。
調節——增加注射速率，減少循環時間，從而快速增加H2O2濃度。
關閉空調係統的新風閥、排風閥，關閉空調係統的冷熱源閥門，打開通至房間的幹空氣調節閥至全開位置，打開VHP管路與空調係統連接之閥門至全開位置，同時開啟VHP發生器，過氧化氫加液裝置給VHP發生裝置供給液態過氧化氫，過氧化氫氣體發生裝置將液態過氧化氫轉換為氣態，然後經過送風支管（如圖3)、送風風口傳輸至各需要滅菌的潔淨空間內，對房間、物料、產品和設備等進行滅菌。在VHP和幹燥空氣進入密閉潔淨空間的同時，根據通入的氣體量通過自控係統對排風閥門進行調節。此調節過程中保持整個空調係統的相對濕度大約為 50%。