單向流潔淨室
單向流潔淨室一般有兩種類型，即水平流和垂直流。在水平流係統中，氣流是從一麵牆流向另一麵牆。在垂直流係統中，氣流是從吊頂流向地麵。對要求潔淨室的懸浮粒子濃度或微生物濃度更低的場合，就使用單向氣流。以前稱這類潔淨室為“層流”潔淨室。單向流和層流的名稱均說明了其氣流的狀況：氣流以一個方向流動（或是垂直的或是水平的），並以一般是0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分鍾至100英尺/分鍾）的均速流過整個空間。由滿布潔淨室吊頂的高效過濾器向室內送風。氣流有如一個空氣活塞，向下流經室內，帶走汙染物，然後從地麵排出。又在與外部的一些新鮮空氣混合後，再循環至高效過濾器。人員和工藝所產生的懸浮汙染可立即被這種空氣清除掉，而紊流通風係統采用的是混合與稀釋原理。在一間沒有任何障礙物的空房間，單向流用比前麵提到的低得多的風速，就可以很快將汙染物清除。但在一個操作間，機器以及機器周圍走動的人員，會對氣流形成障礙。障礙物可以使單向流變成紊流，從而在障礙物周圍形成氣流團。人員的活動也可以使單向流變成紊流。在這些紊流中，由於風速較低，空氣稀釋程度較小，從而使得汙染濃度較高。因此，必須將風速保持在0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分鍾至100英尺/分鍾）的範圍裏，以便使中斷的單向流能快速恢複，充分稀釋障礙物周圍紊流區的汙染。用風速可以正確地表示出單向流，因為風速越高室內就越潔淨。而每小時換氣次數與房間的體積有關，如吊頂的高低，因此不適合用來表示單向流。單向流室內的送風量是紊流室的很多倍（10到100倍）。