潔淨室氣密性檢測方法
G.1 原 理
G.1.1 保持室內為正壓或負壓均能滿足檢驗要求，但條件允許
時，負壓潔淨室宜用正壓檢驗，正壓潔淨室宜用負壓檢驗。
G.1.2 可按以下方法進行檢測：
1 壓力衰減法
使室內達到某一壓力(正壓或負壓),關閉加壓或抽負壓係 統，觀察壓力隨時間衰減的情況，記錄下壓力衰減到起始壓力的
一半時所用的時間，即為測量室內正壓或負壓的半衰期。
2 恒壓法
使室內達到某一正壓，同時向室內補氣，使室壓達到要求的 穩定值而不下降時的補氣量即為漏泄量。使室內達到某一負壓，
使室壓維持要求的穩定值而不下降時的抽氣量即為漏泄量。
G.2 壓力衰減法
G.2.1 測試係統如圖G.2.1 所示。
G.2.2 可按以下步驟進行檢測
1 將所測潔淨室的溫度控製在設計範圍內並保持穩定，記 錄壓力衰減測試過程中室內溫度的變化(溫度計或溫度傳感器的
最小示值不宜大於0.1℃)。
2 關閉所測潔淨室圍護結構上的門、傳遞窗等，關閉回風 管(或排風管)上的氣密閥門，不得在風口上加其他密封措施，
並維持各種孔洞縫隙的密封現狀。
3 開啟送風，使室內壓力上升至已商定的測試壓力(壓力 計量程至少為測試壓力的1.5倍，最小示值不宜大於10Pa), 壓
力穩定後，停止送風，關閉送風閥門。
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1-潔淨室；2—送風機；3—調節閥；4—密閉閥；5--微壓計；6一排風機
4 或反之關閉送風管上的閥門，如果送風管上無閥或閥不 嚴，應在送風口上用塑料膜加盲板的方法封住風口，開啟排風， 使室內壓力下降至已商定的測試壓力，壓力穩定後，停止排風，
關閉排風氣密閥門。
5 從停止送(排)風起，記錄壓力隨時間衰減的數據，每 1min 記錄1次壓差和溫度，連續記錄至室內壓力下降至初始壓
力的一半時止。
6 測試結束後慢慢打開風閥，使房間壓力恢複到正常狀態。
8 當不用風機時也可用空氣壓縮機或真空泵。
G.2.3 檢測報告應包括以下內容，
1 檢測條件，包括室內溫度等。
2 檢測方法包括檢測所用儀器設備規格型號及精度；所測
潔淨室壓力、溫度的動態變化；檢測持續的時間。
3 檢測結果包括所測潔淨室壓力下降至初始壓力的1/ 2時的時間內壓力衰減率；所測潔淨室圍護結構嚴密性的
評價。
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G.3 恒 壓 法
G.3.1 測試係統如圖 G.3.1 所示。
圖 G.3.1 恒壓法測試係統
1—潔淨室；2—送風機；3—調節閥；4—密閉閥；5 微壓計；
6—排風機；7—氣泵；8—流量計；9—真空泵
注：正壓檢驗時用氣泵，負壓檢驗時用真空泵
G.3.2 可按以下步驟進行檢測：
1 將所測潔淨室的溫度控製在設計範圍內並保持穩定，記 錄測試過程中室內溫度的變化(溫度計或溫度傳感器的最小示值
不宜大於0.1℃)。
2 關閉所測潔淨室圍護結構上的門、傳遞窗等，關閉回風 管(或排風管)上的閥門，如果風管上無閥或閥不嚴，應在回風
口(或排風口)上用塑料膜加盲板的方法封住風口。
3 開啟送風，使室內壓力上升至500Pa, 停止送風，關閉
送風閥門。
通過圍護結構上的孔洞和導管，由送風機或空氣壓縮機向室 內補氣，通過調節安裝在導管上的調節閥調整補氣流量，以維持 潔淨室內的壓力穩定不下降，每隔1min 記錄一次補氣管路上浮
子流量計讀數，此數即為漏氣量，測試持續的時間宜不超過
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5min, 取平均值。
4 反之關閉送風閥，開啟排風，當室內壓力下降至一500Pa 時關閉排風，開啟真空泵保持室內壓力，記錄真空泵抽氣量，此
數即漏泄量。
5 測試結束後慢慢打開風閥，使房間壓力恢複到正常狀態。
6 如果需要進行重複測試，20min 後進行。
7 當不用風機時也可用空氣壓縮機或真空泵。
G.3.3 檢測報告應包括以下內容：
1 檢測條件，包括室內溫度等。
2 檢測方法包括檢測所用儀器設備規格型號及精度；室內
溫度的動態變化；漏泄量的動態變化。
3 檢測結果包括所測潔淨室5min 內的每小時漏泄率；所
測潔淨室圍護結構嚴密性的評價。
G.4 安 全 要 求
G.4.1 應製定防範預案。
G.4.2 必須對被檢驗室內的溫度進行監測。
G.4.3 恒壓法測試持續時間不宜太長。