電子製造業萬級無塵車間廠房特點:
潔淨度等級要求高,風量、溫度、濕度、壓差、設備排風按需受控,照度、潔淨室截麵風速按設計或規範受控,另外該類潔淨室對靜電要求極其嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過於幹燥的廠房內極易產生靜電,造成CMOS集成損壞。一般來說,電子廠房的溫度應控製在22℃左右,相對濕度控製在50-60%之間(特殊無塵車間有相關溫濕度規定)。 這時可有效地消除靜電,並使人也感覺舒適。芯片生產車間、集成電路無塵室和磁盤製造車間是屬於電子製造行業潔淨室的重要組成部分,由於電子產品在製造、生產過程中對室內空氣環境和品質的要求極為嚴格,主要以控製微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規定。
●電子製造廠萬級潔淨室內的噪聲級(空態):不應大於65dB(A)
●電子製造廠潔淨室垂直流潔淨室滿布比不應小於60%,水平單向流潔淨室不應小於40%,否則就是局部單向流了。
●電子製造廠潔淨室與室外的靜壓差不應小於10Pa,不同空氣潔淨度的潔淨區與非潔淨區之間的靜壓差不應小於5Pa
● 電子製造行業萬級潔淨室內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值
● 補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。
● 保證供給潔淨室內每人每小時的新鮮空氣量不小於40m3。
電子製造行業潔淨室淨化空調係統加熱器,應設置新風,超溫斷電保護,若采用點加濕時應設置無水保護,寒冷地區,新風係統應設置防凍保護措施。無塵室的送風量
電子淨化工程一般包括:
1、 潔淨生產區
2、 潔淨輔助間(包括人員淨化用房、物料淨化用室和部分生活用室等)
3、 管理區(包括辦公、值班、管理和休息等)
4、 設備區(包括淨化空調係統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)