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    潔淨室噪音標準和潔淨室噪音控製方法

    來源: 時間:2017-01-12 10:19:03 瀏覽次數:

    潔淨室噪音標準和潔淨室噪音控製方法

        潔淨室在使用期間,除了要對你潔淨度、溫濕度做測試和控製之外,對噪音標準也需要控製。 解析潔淨室噪音標準和潔淨室噪音控製方法。

      潔淨室噪標準

    潔淨室噪聲標準的製訂主要考慮噪聲的煩惱效應、語言通訊幹擾和對工作效率的影響。

    國內對於噪音對於健康影響的研究表明,低於80dB(A)的一般工業噪聲對健康的影響不太大。

    國外潔淨室噪聲標準的研究工作開始於20世紀60年代。1966年製定的美國聯邦標準209a和1974修訂的209b規定:“潔淨室的噪聲控製在可能進行必要的通話,滿足操作或產品的要求,並使人員保持在舒適和安全的範圍內”。在ISO/DIS14644-4標準(草案)中規定:“應根據潔淨室內人的舒適和安全要求及環境(如其它設備)的背壓級來選擇適宜的聲壓級。潔淨室的聲壓級範圍為40-65dB(A)”。

    從搜集的國內外潔淨室的噪音標準來看,有以下幾個特點:潔淨室的噪音標準一般均嚴於保護健康的標準。在潔淨室的環境下,噪聲條件主要在於保障正常操作運行,滿足必要的談話聯係,提供舒適的工作環境。絕大多數標準給出的允許值在65-70dB(A)範圍,醫療行業更低。現行的大多數標準均以A聲級作為評價指標,也有少數標準對於各頻帶聲壓級提出限製。少數標準按不同的空氣潔淨度等級分別給出噪聲容許值,而大多數標準對不同的空氣潔淨度等級潔淨室提出一個統一的容許值。

    對國內幾個行業不同氣流流型潔淨室的靜態和動態噪聲所進行的分析表明,不同氣流流型的靜態噪音有較大的差異。非單向流潔淨室的靜態噪聲實測值在41-64 dB(A),平均為54 dB(A);單向流、混合流潔淨室的靜態噪聲實測值在51-75 dB(A),平均為65 dB(A)。非單向流潔淨室較之單向流潔淨室的靜態噪聲平均值約低11 dB(A)。非單向流潔淨室和單向流、混合流潔淨室靜態噪聲的差異與其送風量(或換氣次數)和淨化空調係統的特征有關。

    控製設備噪聲首先應從聲源上著手,設計時應選用低噪聲設備。在某些情況下,由於技術或經濟的原因而難於做到時,則應從噪聲傳播途徑上來采取降噪措施。例如,把高噪聲工藝設備遷出潔淨室或隔離布置於隔聲間內。必須置於潔淨室內的高噪聲設備,亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。國內有些潔淨室將機械泵一類高噪聲設備置於潔淨室外套間,或技術夾道或服務區內,潔淨室噪聲有明顯的降低。

    潔淨室的靜態噪聲主要來源於淨化空調係統和局部淨化設備運行噪聲,靜態噪聲的大小與潔淨室氣流流型、換氣次數等因素有關。但關鍵在於淨化空調係統的合理布置及合理的降噪措施。

    關於降低潔淨室淨化空調係統噪聲的措施,國內外有關資料提出一些有效措施:

    《現代潔淨室概念》一文中強調“選擇那種能滿足氣流要求的噪聲最低的風機,還應該采用彈性減振基礎”。關於消聲器的使用,文中說:“管道消聲器在高頻和中頻範圍內降低噪聲是有效的,當風管敷設長度在15m內時,就應考慮采用消聲器”。關於風管的連接,文中說:“通風機和送風管道與回風管道之間,應采用柔性連接管隔開”。還要求“將通風機外殼、靜壓箱和管道加上襯裏”。對風道係統采取消聲和防止管道固體傳聲等措施,潔淨室噪聲可以大幅度地降低。

    排風係統噪聲對潔淨室影響極大。以集成電路生產為例,在生產過程中,外延、擴散、腐蝕、清洗等多種工序都需要設排風係統。近年來,對於潔淨廠房排風係統噪聲治理日益受到重視,注意選用低噪聲風機等。

    潔淨室的密封性能比較好,噪聲不易衰減,由於潔淨室內的工作環境要求比較安靜,按規定減少風管風速,既減少了淨化空調係統的阻力,降低了風機壓頭和轉速,減弱了風機噪聲,又防止了風速過大而產生的附加噪聲。

    潔淨廠房設計規範裏的噪音控製標準:

    潔淨室控製

    1、潔淨室內的噪聲級(空態),非單向流潔淨室不應大於60dB(A),單向流、混合流潔淨室不應大於65 dB(A)。

    2、潔淨廠房的平、剖麵設計應考慮控製要求。潔淨室的維護結構應具有良好的隔聲性能,並使各部分隔聲量相接近。

    3、潔淨室內的各種設備應選用低噪聲產品。對於輻射噪聲值超過潔淨室允許值的設備,應設置專用隔聲設施(如隔聲間、隔聲罩等)。

    4、淨化空調係統噪聲超過允許值時,應采取隔聲、消聲、隔振等控製措施。潔淨室內的排風係統除事故排風外應進行減噪設計。

    5、淨化空調係統,根據室內容許噪聲級要求,風管內風速宜按下列規定選用總風管: 6-10m/s;

    無送、回風口的支風管為4-6m/s;

    有送、回風口的支風管為2-5m/s。

     

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