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    無塵室如何控製微粒子濃度

    來源: 時間:2017-01-09 15:58:56 瀏覽次數:

    無塵室的浮遊微粒子濃度,若用高性能的送風係統即可達到零水平,然而實際的生產現場由於作業者、機器、周邊機械的發塵及基板運送時所接觸的零件材料的發塵等,在製造品周邊揚起了少許的微粒子,故造成了元件清潔麵的粒子汙染。淨化公司無錫一淨小編整理了這幾年來關於無塵室相關的管理經驗給大家這篇文章參考:

    無塵室內如何控製微粒子濃度呢?

    1、 不攜入:人、機、料進無塵室不攜入微粒子

    (1)進入無塵室者在更衣室要穿著不發塵、不產生靜電的具特殊導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等, 再通過風淋室吹淋,高速幹淨的氣流可除去附在衣服表麵的粒子,吹淋完畢才能進入無塵室。

    (2)機器、材料進無塵室前,盡可能在密封狀態下帶進無塵室前室保養後用超純水擦拭,經貨淋室吹淋或風淋傳遞窗吹淋後才能進入無塵室。

    (3)無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有空氣過濾器的排氣用小型過濾單元於腰間。

    2、不發生:無塵室內動態環境下機、料的不發生控製

    在控製最大汙染源--人在無塵室內的微粒子發塵量的同時,也應控製第二大汙染源—製造機台的發塵量。因物品在移動時,所產生的摩擦及接觸剝離會造成發塵,而物品在移動時也會有微粒子的發生。

    3、不儲備:

    現實中人和物品的頻繁出入及機台的掣動(動態),無塵室要想達到動態潔淨級別,因此“不儲備”技術快速地在過濾器中應用以除去已發生的微粒子變得非常重要。通常已發生的微粒子會依據重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表麵。突發性的振動及不穩定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起,增加了重大微粒子汙染的危險性。

    控製氣流可防止微粒子累積,但對於帶電表麵的微粒累積就無法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著,通常在無塵室內會使用帶電程度在數十伏以下的導電性材料。而對於製造品本身的帶電,則采用帶電程度很少的搬送形態及接觸部品材料,並藉由除電裝置進 行除電。

    4、排除

    在無法避免大量微粒子發生的機台中,為了不讓無塵室內產生微粒子,因此直接做對外排氣的動作,即所謂的局部排氣。由於導入同量的外氣是必要的,但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是絕對理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時,不僅僅是向無塵室外排氣,而應采用將除去粒子後的空氣再回流到無塵室內之對策。

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