無塵車間(Clean Room)，亦稱為無塵室或潔淨室。它是汙染控製的基礎。控製空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔淨度級別。無塵室是指將一定空間範圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之汙染物排除，並將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控製在某一需求範圍內，而所給予特別設計之房間。
進入無塵車間的有哪些清潔要求?
（1）清潔潔淨室內的牆時應使用潔淨室無塵布；
（2）用90%去離子水和10%的異丙醇配置清潔劑；
（3）使用已獲批準的潔淨室專用去汙劑；
（4）每天都要檢查車間和整備間的垃圾箱，並及時清走。
（5）無塵車間每塊地板都要吸塵。每次交接班時，都應在地圖上標明工作完成情況，例如在哪結束從哪開始。
（6）清潔潔淨室的地麵應使用專用拖把。
（7）在潔淨室裏吸塵應使用帶有高效過濾器的專用真空吸塵器。
（8）所有的門都需要檢查並擦幹。
（9）吸完地以後再擦地。一周擦一次牆麵。
（10）架空地板下也要吸塵及擦拭。
（11）三個月擦一次無塵車間架空地板底下的柱子和支撐柱。
（12）工作時一定要記住，永遠是由上往下擦，從離門最遠的地方向門的方向擦。