1.潔淨度
潔淨度是潔淨室的基本的技術指標，其單位是單位體積的空氣中粒徑不小於某一尺寸的微粒個數。
2.微生物濃度
微生物濃度時潔淨室的另一項重要技術指標，其單位是單位體積的空氣中微生物的個數。
3.溫度
溫度時基本的工作條件，幾乎所有的潔淨室對於溫度都有明確的要求，溫度會影響物體的尺寸，從而影響加工的精確度，所以精密加工對於溫度有相當嚴格的要求，溫度會影響儀器的參數，從而產生誤差，所以精密測量儀器對於溫度的要求也較高。
4.濕度
濕度也是基本的工作條件，幾乎所有的潔淨室對於濕度都有明確的要求，濕度較大會使許多物質發生化學反應，從而影響產品質量，甚至使設備失效，產品報廢。
5.風速與風量
足夠的風速和風量是潔淨度的保證，過大的風速與風量不僅浪費能量，而且有時會影響正常的工作。
6.氣壓與壓差
正常的氣壓式正常工作的基本條件。必要的壓差是控製漏氣方向的手段。微電子行業的潔淨室為了保證潔淨度，不允許低潔淨度的空氣向高潔淨度區域泄露。
7.噪聲
過大的噪聲不僅會影響正常的工作，而且會影響人員的身體健康，降低噪聲是潔淨室的一項基本要求。
8. 照度
適當的照度是正常工作的必要條件。