隨著電子行業的飛速發展，潔淨技術也在飛速的發展中。潔淨空調係統是實現潔淨室控製的主要手段。潔淨室送風和回風設計是影響潔淨室是否達標的重要因素，本文主要從回風係統入手，提出在潔淨室回風係統設計中易出現的問題，對其分析並提出解決辦法。
1. 回風口位置設置常見問題
目前，非單向流是潔淨室氣流組織的主要采用方式，即髙效送風口頂送（或側上送）側下回風；髙效送風口布置形式為吊頂均布，或是布置於受保護的工藝生產線上方，回風口布置於側牆下方。《工業潔淨廠房設計規範》GB50457-2008指出：回風口位置宜遠離潔淨工作台；易產生汙染的工藝設備附近應設排風口；有局部排風裝置或需排風的工藝設備，宜布置在潔淨室下風側。
由於送風口的布置是影響房間氣流組織及空調參數的主要因素，因此，許多潔淨室回風口布置存在以下幾點問題：有的回風口隨意布置於空餘牆角或牆邊，忽略了氣流流向對工藝操作麵的影響；有的設計回（排）風口又遠離產生汙染的工藝設備（如粉碎機等），這些工藝設備產生的汙染空氣會流到相對潔淨區域甚至全潔淨室；有的回風口布置的太少，回風速度偏大，導致全室空氣流向一處，必然存在死角，潔淨空氣難以到達。
因此，在潔淨室空調設計時，要同時參考建築底圖和工藝布置圖，根據工藝要求進行設計：根據生產工藝特點，潔淨度要求高的，回風口布置在遠離設備側；產塵或產生其它汙染氣體的，回（排）風口布置在zui靠近設備處；同時，風速不宜過大，以不大於2m/s為宜，這樣，才能保證潔淨室的潔淨度，不增加衛生死角，zui大限度的保證潔淨室工藝設備的an全有效使用。