潔淨工程防靜電措施應該包括以下三條主要原則：
(1)連接工作間內所有導體(包括人員)
(2)使工作間內的非導體保持靜電平衡;
(3)將靜電安全工作區之間所有對靜電敏感的物件裝人靜電防護罩內：
以上三條很重要,必須按次序操作。其中,接地是最重要的一項。如果孤立的導體帶了電,將它接地就可使靜電釋放。通過這種方法,設備、材料和許多適合潔淨工程的諸如印製電路基板、人造織物、塑料運送盤、聚四氟乙烯(tefon)等一些非導電材料,不能用接地的方法將靜電消除。那麽就需要其他方法以中和電荷。對存在於絕緣體和與大地隔離的導體上的靜電,實際上，潔淨工程中還經常用空氣離子發生器來對付它。空氣離子發生器可以產生正、負空氣離子團,去中和潔淨工程內的靜電。
在潔淨工程內使用的空氣離子發生器,必須符合與其他設備相容的一般方針,而且空氣離子發生器的運用應不產生潔淨室汙染。空氣離子是空氣中失去或得到電子的氣體分子。在潔淨室中最一般的獲得空氣離子的方法是利用電暈電離器。在空氣離子發生器裏,將很高的電壓加到發射極尖端上,形成冠狀電場,從而會很容易將空氣分子的電子移走,也就是使空氣發生電離。
當電離的空氣與帶電的絕緣體表麵接觸時,帶電表麵就會吸引極性相反的空氣離子,從而消除靜電。因為潔淨工程中造成靜電帶電的電荷,既有正電荷,也有負電荷。所以,中和這些靜電,就既需要正空氣離子,也需要負空氣離子。
淨化工程的潔淨過程經常涉及到高壓氣體吹噴,以達到移除微粒和風幹的目的。如果用空氣離子發生器電離這一高壓氣體,使之中和帶電表麵上的靜電荷,從而可以達到兩個目的:其一,使消除因帶電表麵吸附微粒造成的汙染變得容易;其二是對於沒有帶電的產品表麵,減小了它在潔淨過程後再吸附微粒造成汙染的可能。