百級、千級、萬級無塵車間的最主要的區別,就在於空氣中各粒徑檔最大容許粒子濃度不一樣。
1、百級無塵車間0.5微米的最大容許粒子濃度小於3520(pc/m3),5微米的最大容許粒子濃度小於293(pc/m3)。
2、千級無塵車間0.5微米的最大容許粒子濃度小於35200(pc/m3),5微米的最大容許粒子濃度小於2930(pc/m3)。
3、萬級無塵車間0.5微米的最大容許粒子濃度小於352000(pc/m3),5微米的最大容許粒子濃度小於29300(pc/m3)。