在過去，潔淨走廊與其兩邊的潔淨車間都是隻有一扇門相通，而無所謂緩衝室。這種方式留下了一定的汙染隱患，美國早期提出了“氣閘室”的概念，說的便是緩衝室。那麽，潔淨車間不同潔淨區之間的緩衝室應如何設置呢?
在潔淨車間中，不同級別的潔淨區之間已有最小5Pa壓差，高級別側保持正壓，用以阻擋門關閉條件下由縫隙從低級別到高級別潔淨室的空氣滲透;在門開啟條件而無人走動時，低級別側的氣流也不能輕易入侵到高級別側。但是，在開門的瞬間，人的進出引起的氣流，就不是正常的壓差能阻擋得住的。因此，在潔淨車間設立緩衝室的作用就在於減少開門時入侵的髒氣流。
具體到不同的潔淨車間，是否安設緩衝室是有差別的：
1.如果發生的汙染不僅僅是增加塵粒的汙染，而是改變汙染性質的汙染(例如不同性質的菌種、不同性質的塵源)，則一定要設緩衝室。
2.相差兩級的亂流潔淨區相通時，在高級別的潔淨室體積大於270立方米時，可以不加緩衝，或者高級別允許在其含塵濃度突然上升後，恢複到1.2N(N為正常濃度)水平的時間可以不超過2分鍾，也可以不加緩衝，否則應有緩衝室。
3.兩個隻相差一級的相鄰亂流潔淨區相通時，中間無需設這樣的緩衝室，從低級別帶入高級別的塵粒對後者不構成威脅。
4.緩衝室應時按高級別潔淨級別設計，其體積不小於6立方米。
5.對於單向流的潔淨車間，由於其抗幹擾能力極強，美國標準已說明不設氣閘和吹淋室，當然也用不著設置緩衝室。
實施潔淨工程時，要合理確定緩衝室的麵積、是否需要按照等，須結合潔淨車間的體積、等級、換氣次數等進行周密的計算。