潔淨技術（cleanroom）是適應實驗研究與產品加工的精密化、微型化、高純度、高質量和高可靠性等方麵要求而誕生的一門新興技術。潔淨室（cleanroom）這個名詞和概念源於18世紀六十年代的歐洲醫學，當時的理解僅限於經噴灑消毒後可以控製創部感染率的處置室、手術室這類滅菌處理的工作環境。現代潔淨室雖然延用了這個名詞，但在定義和內涵上都與原有的概念有根本的不同，現代潔淨室形成一項專門技術，其曆史不過隻有半個世紀。
我國空氣過濾器潔淨技術的發展大致可分為以下幾個階段：
● 20世紀60年代開始—— 為三線建設服務—— 初創發展階段；
● 7 0年代～80 年代中—— 為大規模集成電路會戰服務—— 第一次大普及；
● 8 0年代中期～現 在—— 為醫藥行業生產環境現代化服務（GMP、潔淨手術室建設等）— 第二次大普及。
1）從20世紀50年代中期到60年代中期，主要借鑒前蘇聯的技術，服務於國防、航天、原子能工業與科研。與現代潔淨技術相比，在廠房、設備、氣流組織等各方麵還都比較原始和粗糙，屬於起步階段。
2）從20世紀60年代中期到70年代後期，由於國內外的種種原因，主要靠自力更生發展。當時參照了美國和日本的標準和技術，逐步研製成高效過濾器和納焰法 試驗台、潔淨工作台、粒子計數器、裝配式潔淨室及其他潔淨室附屬設備（風淋室、傳遞窗、餘壓閥等），編製了“空氣潔淨技術措施”，奠定了我國潔淨技術的基礎
3）從20世紀70年代末到80年代末，由於實行了改革開放的國策，發達國家的技術與設備開始進入我國市場，現代潔淨技術在我國的大規模集成電路、光導纖維、彩色顯像管、液晶顯示屏等工業潔淨領域得到迅速發展，裝備0.1um高效過濾器的10級潔淨小室和無隔板過濾器研製成功。同時在醫療、製藥、生物、化妝品與食品行業生物潔淨室也得到應用，一些製藥廠對原有空調係統的改造中開始采用生物潔淨技術，簡易的水平“單向流”潔淨室和裝配式無菌病房用於醫院，生物安全工作台和細菌采樣儀研製成功。1982年我國醫藥行業GMP公布，1983年中國電子學會潔淨技術分會成立，1985年GBJ73-1984《潔淨廠房設計規範》頒布，我國的潔淨技術進入穩步發展階段、
4） 20世紀80年代末至今，在大規模集成電路領域全麵引進境外資金、技術與設備，形成一批知名的國際品牌企業，潔淨室的規模越來越大，風機過濾機組（FFU）和微環境技術得到應用和推廣。在醫療和製藥領域潔淨技術趨向成熟與規範，生物安全技術發展迅速。包括微環境、密褶型無隔板高效過濾器、微計算機控製過濾器性能測試台等潔淨技術相關的技術設備基本可以實現國產，同時還開始了0.1um光刻機及相關環境的研製。
我國的空氣潔淨技術經曆了50多年的發展，已經形成相當完整的技術體係和廣闊的應用市場，但必須看到，由於種種原因，在潔淨技術的高端領域和市場，我國還存在差距、缺少話語權，還需要科技和工程技術人員的不斷努力。
現在，我國的潔淨室技術已發展到以下水平。
①從軍工走向民用——製藥、醫療、食品；
②從高精走向普及——不僅高精尖產業要求，一般民需產業和家庭生活也出現大量需求；
③從國內走向國外——空氣淨化產品和潔淨室工程已走出國門。