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    萬級淨化

    來源: 時間:2019-08-01 08:37:18 瀏覽次數:

    萬級淨化,環境淨化的一種,主要靠潔淨的氣流不斷稀釋室內的空氣,將室內的汙染逐漸排出,來實現潔淨效果。

    潔淨室(Clean Room),亦稱為無塵室或清淨室。

    「潔淨室」是指將一定空間範圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之汙染物排除,並將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控製在某一需求範圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔淨度、溫濕度及壓力等性能之特性。

    潔淨室最主要之作用在於控製產品(如矽芯片等)所接觸之大氣的潔淨度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、製造,此空間午夜精品在线导航稱之為「潔淨室」。

    世界各國均有自定規格,但普遍還是用美國聯邦標準209為多,以下僅就209D及209E和世界上其它各國製定標準作介紹與相互比較。

    209E與209D等最大之不同在於209E表示單位增加了公製單位,潔淨室等級以‵M′字頭表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推,配合國際公製單位之標準化,M字母後之阿拉伯數目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數目字以10的冪次方表示,取指數為之,若微塵粒子數介於前後二者完全冪次方之間,則以1.5、2.5、3.5….表示。

    美國聯邦標準FS 209D都以英製每立方英呎為單位,日本則是采用公製,即以每立方公尺為單位,以0.1μm微粒子為計數標準。日本標準之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,最好的等級為Class 1,最差則為Class 8,以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10的冪次方,取其指數而得。

    處理方案

    ●萬級淨化工程中各級空氣潔淨度的空氣淨化處理,均應采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。

    ●空氣過濾器的選用布置和安裝方式,應符合:初效空氣過濾器不應選用浸油式過濾器;中效空氣過濾器宜集中設置在淨化空氣調節係統的正壓段;高效空氣過濾器或亞高效空氣過濾器宜設置在淨化空氣調節係統末端,高效空氣過濾的安裝方式應簡便可靠,宜檢漏和更換;中效、亞高效、高效空氣過濾器宜按額定風量選用;阻力、效率相近的高效空氣過濾器宜設置在同一淨化車間內。

    ●確定集中或分散式淨化空氣調節係統時,應綜合考慮生產工藝的特點和淨化車間空氣的潔淨度等級、麵積、位置等因素。凡生產工藝連續、無塵室或淨化車間麵積較大時,位置集中以及噪聲控製和振動控製要求嚴格的潔淨室,宜采用集中式淨化空氣調節係統。

    ●淨化空氣調節係統如需電加熱時,應選用管狀電加熱器,位置應布置在高效空氣過濾器的上風側,並應有防火安全措施。

    ●送風機可按淨化空氣調節係統的總送風量和總阻力值進行選擇,中效、高效空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計算。

    ●淨化工程中淨化空氣調節係統除直流式係統和設置值班風機的係統外,應采取防止室外汙染空氣通過新風口參入淨化車間內的防灌倒措施。

    ●淨化空氣調節係統設計應合理利用回風,凡工藝過程產生大量有害物質且局部處理不能滿足衛生要求,或對其他工序有危害時,則不應用回風。


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